基本信息:
- 专利标题： BEAM POSITION SENSOR
- 专利标题（中）：光束位置传感器
- 申请号：PCT/US2016/027159 申请日：2016-04-12
- 公开(公告)号：WO2016171964A1 公开(公告)日：2016-10-27
- 发明人： LIEBENBERG, Christoffel, Johannes
- 申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 申请人地址： P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven NL
- 专利权人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 当前专利权人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven NL
- 代理机构： NGUYEN, Joseph, A.
- 优先权： US14/694,635 20150423
- 主分类号： H05G2/00
- IPC分类号： H05G2/00 ; G01B11/26 ; G01C1/00
摘要：
A system includes a plurality of sensors at distinct and separate locations, each of the distinct and separate locations being equidistant from a region that Is configured to pass light that propagates along a beam path, the sensors being configured to sense radiation from an optical element positioned to interact with light that propagates on the beam path; and a controller including one or more electronic processors and a computer-readable medium, the computer- readable medium including instructions that, when executed, cause the one or more electronic processors to receive an output from each of the sensors, the output of each sensor including an indication of an intensify of the radiation detected by the sensor, and analyze the received output to determine a position of the light that propagates along the beam path.
摘要（中）：
系统包括在不同和分离的位置处的多个传感器，每个不同的和分离的位置与被配置为通过沿着光束路径传播的光的区域等距离地设置，所述传感器被配置为感测来自定位的光学元件的辐射 与在光束路径上传播的光进行交互; 以及包括一个或多个电子处理器和计算机可读介质的控制器，所述计算机可读介质包括指令，所述指令在被执行时使所述一个或多个电子处理器从每个传感器接收输出，每个传感器的输出 包括由传感器检测到的放射增强的指示，并且分析所接收的输出以确定沿着光束路径传播的光的位置。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05G | X射线技术 |
| ------H05G2/00 | 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生 |