基本信息:
- 专利标题： 基板搬送装置
- 专利标题（英）：Substrate transfer device
- 专利标题（中）：基板传输设备
- 申请号：PCT/JP2013/077296 申请日：2013-10-08
- 公开(公告)号：WO2015052763A1 公开(公告)日：2015-04-16
- 发明人： 和田 匡史
- 申请人： ヤマハ発動機株式会社
- 申请人地址： 〒4388501 静岡県磐田市新貝2500番地 Shizuoka JP
- 专利权人： ヤマハ発動機株式会社
- 当前专利权人： ヤマハ発動機株式会社
- 当前专利权人地址： 〒4388501 静岡県磐田市新貝２５００番地 Shizuoka JP
- 代理机构： 宮園 博一
- 主分类号： B65G49/06
- IPC分类号： B65G49/06 ; B65G21/20 ; B65G47/28 ; H01L21/677
摘要：
この基板搬送装置（１００）は、基板（ＣＢ）を搬送方向に搬送するコンベア部（１）と基板幅方向に間隔を隔てて設けられた第１ガイドレール（２）および第２ガイドレール（３）と、モータ（４）と、レール間隔を第１間隔（Ｄ１）にして基板搬送を行うとともに、モータの検出値に基づいて、レール間隔を第２間隔（Ｄ２）にして基板の傾きを矯正するように、第１ガイドレールを第２ガイドレールに対して相対移動させる制御を行うように構成された制御部（６）とを備える。
摘要（中）：
该基板输送装置（100）具备：输送部（1），沿输送方向输送基板（CB）;第一导轨（2）和第二导轨（3） 存在于基板宽度方向上; 电动机（4）; 以及控制单元（6），其被配置为执行将轨道间隔设置为第一间隔（D1）并且所述基板被传送的控制，并且所述第一导轨相对于所述第二导轨基于 电机的检测值，使轨道间隔设定为第二间隔（D2），校正基板的倾斜。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G49/00 | 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 |
| --------B65G49/02 | .用于输送通过液浴的工件 |
| ----------B65G49/06 | ..用于易碎薄板，如玻璃 |