基本信息:
- 专利标题： BIOSENSOR AND SYSTEM AND PROCESS FOR FORMING
- 专利标题（中）：生物传感器和系统及其形成过程
- 申请号：PCT/US2014/041501 申请日：2014-06-09
- 公开(公告)号：WO2015038204A1 公开(公告)日：2015-03-19
- 发明人： PARANJAPE, Makarand , LIU, Yian
- 申请人： GEORGETOWN UNIVERSITY
- 申请人地址： 37th and O Streets, N.W. Washington, DC 20057 US
- 专利权人： GEORGETOWN UNIVERSITY
- 当前专利权人： GEORGETOWN UNIVERSITY
- 当前专利权人地址： 37th and O Streets, N.W. Washington, DC 20057 US
- 代理机构： BEY, Dawn-Marie
- 优先权： US14/022,315 20130910
- 主分类号： H01L21/335
- IPC分类号： H01L21/335 ; B82Y15/00
摘要：
A process for forming a carbon nanotube field effect transistor (CNTFET) device includes site-specific nanoparticle deposition on a CNTFET that has one or more carbon nanotubes, a source electrode, a drain electrode, and a sacrificial electrode on a substrate with an interposed dielectric layer. The process includes control of PMMA removal and electrodeposition in order to select nanoparticle size and deposition location down to singular nanoparticle deposition. The CNTFET device resulting in ultra-sensitivity for various bio-sensing applications, including detection of glucose at hypoglycemic levels.
摘要（中）：
用于形成碳纳米管场效应晶体管（CNTFET）器件的方法包括在具有一个或多个碳纳米管的CNTFET上的位点特异性纳米颗粒沉积，源电极，漏电极和牺牲电极在具有介电介质的衬底上 层。 该过程包括控制PMMA去除和电沉积，以便选择纳米颗粒尺寸和沉积位置到单个纳米颗粒沉积。 CNTFET器件对各种生物传感应用产生超灵敏度，包括在低血糖水平检测葡萄糖。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/26 | ....用波或粒子辐射轰击的 |
| ----------------H01L21/335 | .....场效应晶体管 |