基本信息:
- 专利标题： VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON SUBSTRATEN AN EINEM TRÄGER
- 专利标题（英）：METHOD AND DEVICE FOR CLEANING SUBSTRATES ON A CARRIER
- 申请号：PCT/EP2010/060644 申请日：2010-07-22
- 公开(公告)号：WO2011009917A3 公开(公告)日：2011-01-27
- 发明人： WORM, Sven , HUBER, Reinhard
- 申请人： GEBR. SCHMID GMBH & CO. , WORM, Sven , HUBER, Reinhard
- 申请人地址： Robert-Bosch-Straße 32 - 34 72250 Freudenstadt DE
- 专利权人： GEBR. SCHMID GMBH & CO.,WORM, Sven,HUBER, Reinhard
- 当前专利权人： GEBR. SCHMID GMBH & CO.,WORM, Sven,HUBER, Reinhard
- 当前专利权人地址： Robert-Bosch-Straße 32 - 34 72250 Freudenstadt DE
- 代理机构： PATENTANWÄLTE RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER
- 优先权： DE102009035343.7 20090723
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18
摘要：
Bei einer Vorrichtung und einem Verfahren zur Reinigung von Substraten an einem Träger, an dessen Unterseite die Substrate parallel zueinander mit geringem Abstand zueinander befestigt sind, weist der Träger in seinem Inneren mehrere parallel zueinander verlaufende Längskanäle auf. Durch das Zersägen der Wafer gehen sie mit Öffnungen in Zwischenräume zwischen den Substraten über. Durch eine Relativbewegung wird ein längliches Rohr, aus dem Reinigungsflüssigkeit ausgebracht wird, in einen der Längskanäle eingebracht, wobei die Relativbewegung im Wesentlichen durch Bewegen des Trägers erreicht wird.
摘要（英）：
The invention relates to a device and a method for cleaning substrates on a carrier. The substrates are fixed to the bottom side of the carrier in such a way that they are arranged in parallel at a short distance from each other, said carrier comprising, on the inside thereof, a plurality of longitudinal channels extending in parallel. As the wafers are sawn, the channels merge with the openings in intermediate spaces between the substrates. A relative movement enables a long tube, from which cleaning fluid is dispensed, to be introduced into one of the longitudinal channels, the relative movement being generated essentially by moving the carrier.