基本信息:
- 专利标题： 液浸レジスト用撥水性添加剤
- 专利标题（英）：Water repellent additive for immersion resist
- 专利标题（中）：防水剂的添加剂
- 申请号：PCT/JP2010/058208 申请日：2010-05-14
- 公开(公告)号：WO2010137472A1 公开(公告)日：2010-12-02
- 发明人： 前田 一彦 , 北元 崇勝 , 小森谷 治彦 , 成塚 智 , 磯野 芳美 , 森 和規
- 申请人： セントラル硝子株式会社 , 前田 一彦 , 北元 崇勝 , 小森谷 治彦 , 成塚 智 , 磯野 芳美 , 森 和規
- 申请人地址： 〒7550001 山口県宇部市大字沖宇部5253番地 Yamaguchi JP
- 专利权人： セントラル硝子株式会社,前田 一彦,北元 崇勝,小森谷 治彦,成塚 智,磯野 芳美,森 和規
- 当前专利权人： セントラル硝子株式会社,前田 一彦,北元 崇勝,小森谷 治彦,成塚 智,磯野 芳美,森 和規
- 当前专利权人地址： 〒7550001 山口県宇部市大字沖宇部５２５３番地 Yamaguchi JP
- 代理机构： 橋本 剛
- 优先权： JP2009-125780 20090525
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; C08F20/26 ; G03F7/039 ; H01L21/027
摘要：
開示されているのは、下記一般式（１）で表される繰返し単位を有する含フッ素重合体からなる液浸レジスト用撥水性添加剤である。この撥水性添加剤をレジスト組成物に添加することにより、露光時には高い撥水性を有し、且つ、現像時には現像液溶解性を向上させるように制御可能である。 ［式中、Ｒ 1 は水素原子、フッ素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基、Ｒ 2 は熱不安定性保護基、Ｒ 3 はフッ素原子または含フッ素アルキル基、Ｗは二価の連結基を表す。］
摘要（中）：
公开了一种浸渍抗蚀剂的防水添加剂，其由具有由通式（1）表示的重复单元的含氟聚合物组成。 通过将防水添加剂加入到抗蚀剂组合物中，可以将抗蚀剂组合物控制为在曝光期间具有高的拒水性，并且在显影期间在显影剂中显示出改进的溶解性。 （式中，R1表示氢原子，氟原子，甲基或三氟甲基，R2表示热不稳定保护基，R3表示氟原子或含氟烷基，W表示二价连接 组。）