Die Erfindung bezieht sich Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit mehreren Schichten, bei dem unter Einfluß eingestrahlten Lichtes eine organische Schicht auf einer Oberfläche eines Halbleitersubstratsgebildet wird, indem auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats ein eine organische Substanz enthaltendes Medium aufgebracht und die organische Substanz abgeschieden wird. Beim Abscheiden der organischen Substanz wird mittels Anlegen einer elektrischen Spannung eine Potentialdifferenz zwischen dem Halbleitersubstrat und dem Medium erzeugt. Die Erfindung betrifft weiterhin einen Biosensor mit einer Anordnung von mehreren Schichten sowie ein Verfahren zum Messen von Eigenschaften einer Testkomponente mit dem Biosensor. Die Anordnung von mehreren Schichten umfaßt eine Halbleitersubstratschicht und eine benachbart zu der Halbleitersubstratschicht angeordnete Schicht mit einer biologisch aktiven Komponente. Es ist ein mit der Schicht mit der biologisch aktiven Komponente in Wirkverbindung stehender Wechselwirkungsabschnitt gebildet, in welchem eine Testsubstanz mit einer Testkomponente zum Wechselwirken mit der biologisch aktiven Komponente eingebracht werden kann. Darüber hinaus sind mindestens eine Anschlußelektrode, die mit dem Wechselwirkungsabschnitt elektrisch leitend verbunden ist, sowie eine weitere Anschlußelektrode, die mit der Halbleitersubstratschicht elektrisch leitend verbunden ist, vorgesehen, wobei mit Hilfe der mindestens einen Anschlußelektrode und der weiteren Anschlußelektrode Anschlußmittel zum Ankoppeln an einen elektrischen Stromkreis gebildet sind, so daß zwischen der mindestens einen Anschlußelektrode und der weiteren Anschlußelektrode über die Anordnung der mehreren Schichten und den Wechselwirkungsabschnitt eine elektrische Meßgröße, die sich infolge des Wechselwirkens der Testkomponente mit der biologisch aktiven Komponente gegebenenfalls ändert, abgegriffen werden kann.