基本信息:
- 专利标题： BANDWIDTH CONTROL TECHNIQUE FOR A LASER
- 专利标题（中）：激光的带宽控制技术
- 申请号：PCT/US0101787 申请日：2001-01-18
- 公开(公告)号：WO0159889A9 公开(公告)日：2002-10-17
- 发明人： FOMENKOV IGOR V , KROYAN ARMEN , BUCK JESSE D , DAS PALASH P , SANDSTROM RICHARD L , ERIE FREDERICK G , ALGOTS JOHN M , PADMABANDU GAMARALALAGE G
- 申请人： CYMER INC , FOMENKOV IGOR V , KROYAN ARMEN , BUCK JESSE D , DAS PALASH P , SANDSTROM RICHARD L , ERIE FREDERICK G , ALGOTS JOHN M , PADMABANDU GAMARALALAGE G
- 专利权人： CYMER INC,FOMENKOV IGOR V,KROYAN ARMEN,BUCK JESSE D,DAS PALASH P,SANDSTROM RICHARD L,ERIE FREDERICK G,ALGOTS JOHN M,PADMABANDU GAMARALALAGE G
- 当前专利权人： CYMER INC,FOMENKOV IGOR V,KROYAN ARMEN,BUCK JESSE D,DAS PALASH P,SANDSTROM RICHARD L,ERIE FREDERICK G,ALGOTS JOHN M,PADMABANDU GAMARALALAGE G
- 优先权： US50116000 2000-02-09; US59781200 2000-06-19; US60854300 2000-06-30
- 主分类号： H01S3/139
- IPC分类号： H01S3/139 ; G03F7/20 ; H01S3/036 ; H01S3/038 ; H01S3/04 ; H01S3/041 ; H01S3/097 ; H01S3/0975 ; H01S3/104 ; H01S3/105 ; H01S3/1055 ; H01S3/134 ; H01S3/22 ; H01S3/225 ; H01S3/08
摘要：
A technique for bandwidth control of an electric discharge laser (2A). Line narrowing equipment is provided having at least one piezoelectric drive (14B1 - 14B5) and a fast bandwidth detection means and a bandwidth control having a time response of less than about 1.0 millisecond. In a preferred embodiment wavelength tuning mirrors (14C1 - 14C5) are dithered at dither rates of more than 500 dithers per second within a very narrow range of pivot angles to cause a dither in the wavelength values to produce a desired effective bandwidth of series of laser pulses.
摘要（中）：
一种用于放电激光器（2A）的带宽控制的技术。 提供了具有至少一个压电驱动器（14B1-14.455）和快速带宽检测装置以及时间响应小于约1.0毫秒的带宽控制的线窄设备。 在优选实施例中，波长调谐镜（14C1-14C5）在非常窄的转角范围内以每秒超过500次抖动的抖动速率抖动，以使波长值中的抖动产生期望的有效带宽的一系列激光 脉冲。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01S | 利用受激发射的器件 |
| ------H01S3/00 | 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件 |
| --------H01S3/10 | .控制辐射的强度、频率、相位、极化或方向，例如开关、选通、调制或解调 |
| ----------H01S3/102 | ..由控制激活媒质，例如通过控制激励的方法或设备 |
| ------------H01S3/139 | ...由控制腔的反射器的相互位置或反射器的反射性能 |