发明申请
US20130070029A1 ELECTROMECHANICAL CONVERSION ELEMENT, LIQUID DROP EJECTION HEAD, LIQUID DROP EJECTION DEVICE, AND IMAGE FORMING APPARATUS
有权
基本信息:
- 专利标题： ELECTROMECHANICAL CONVERSION ELEMENT, LIQUID DROP EJECTION HEAD, LIQUID DROP EJECTION DEVICE, AND IMAGE FORMING APPARATUS
- 专利标题（中）：电动转换元件，液滴喷射头，液滴喷射装置和图像形成装置
- 申请号：US13615399 申请日：2012-09-13
- 公开(公告)号：US20130070029A1 公开(公告)日：2013-03-21
- 发明人： Satoshi Mizukami , Masaru Shinkai , Masahiro Ishimori , Yoshikazu Akiyama
- 申请人： Satoshi Mizukami , Masaru Shinkai , Masahiro Ishimori , Yoshikazu Akiyama
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： RICOH COMPANY, LTD.
- 当前专利权人： RICOH COMPANY, LTD.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2011-203533 20110916
- 主分类号： H01L41/047
- IPC分类号： H01L41/047 ; B41J2/045 ; H01L41/04
摘要：
Disclosed is an electromechanical conversion element, including an electromechanical conversion film including a PIT, an upper electrode formed on a top of the electromechanical conversion film and including a first strontium ruthenium oxide, and a lower electrode formed on a bottom of the electromechanical conversion film and including a second strontium ruthenium oxide, wherein Sr-pzt/Sr-sr≦0.01, wherein Sr-pzt is a SIMS intensity for a secondary ion of strontium of the PZT at a position of ½ of a thickness of the electromechanical conversion film and Sr-sr is a SIMS intensity for a secondary ion of strontium of the second strontium ruthenium oxide at a position of ½ of a thickness of the lower electrode.
摘要（中）：
公开了一种机电转换元件，其包括包括PIT的机电转换膜，形成在机电转换膜的顶部上并包括第一锶氧化钌的上电极和形成在机电转换膜的底部上的下电极， 包括第二锶氧化钌，其中Sr-pzt / Sr-Sr＆nlE; 0.01，其中Sr-pzt是在机电转换膜的厚度的1/2的位置处的PZT的锶的二次离子的SIMS强度，Sr -Sr是在下电极的厚度的1/2的位置处的第二锶氧化钌的锶的二次离子的SIMS强度。
公开/授权文献:
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/02 | .零部件 |
| --------H01L41/04 | ..压电器件的或电致伸缩器件的 |
| ----------H01L41/047 | ...电极 |