基本信息:
- 专利标题： THIN-FILM SOLAR CELL MANUFACTURING APPARATUS
- 专利标题（中）：薄膜太阳能电池制造设备
- 申请号：US12995277 申请日：2009-06-03
- 公开(公告)号：US20110120370A1 公开(公告)日：2011-05-26
- 发明人： Yasuo Shimizu , Hideyuki Ogata , Koichi Matsumoto , Takafumi Noguchi , Jouji Wakamori , Satohiro Okayama , Yawara Morioka , Noriyasu Sugiyama , Takashi Shigeta , Hiroyuki Kurihara
- 申请人： Yasuo Shimizu , Hideyuki Ogata , Koichi Matsumoto , Takafumi Noguchi , Jouji Wakamori , Satohiro Okayama , Yawara Morioka , Noriyasu Sugiyama , Takashi Shigeta , Hiroyuki Kurihara
- 申请人地址： JP Chigasaki-shi
- 专利权人： ULVAC, INC.
- 当前专利权人： ULVAC, INC.
- 当前专利权人地址： JP Chigasaki-shi
- 优先权： JP2008-149936 20080606
- 国际申请： PCT/JP2009/060168 WO 20090603
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; C23C16/00
摘要：
A thin-film solar cell manufacturing apparatus includes a film forming chamber which stores a substrate; and an electrode unit which performs film formation using a CVD method on the substrate in the film forming chamber. The electrode unit has an anode and a cathode; and a side wall portion which holds the anode and the cathode and forms a part of a wall portion of the film forming chamber, and is attachable to and detachable from the film forming chamber.
摘要（中）：
薄膜太阳能电池制造装置包括：存储基板的成膜室; 以及电极单元，其在成膜室中的基板上使用CVD法进行成膜。 电极单元具有阳极和阴极; 以及侧壁部分，其保持阳极和阴极并形成成膜室的壁部分的一部分，并且可附接到成膜室并从膜形成室拆卸。