基本信息:
- 专利标题： Drive laser for EUV light source
- 专利标题（中）：驱动激光用于EUV光源
- 申请号：US12927012 申请日：2010-11-03
- 公开(公告)号：US20110058588A1 公开(公告)日：2011-03-10
- 发明人： Alexander I. Ershov , Igor V. Fomenkov , Norbert R. Bowering , Jerzy R. Hoffman
- 申请人： Alexander I. Ershov , Igor V. Fomenkov , Norbert R. Bowering , Jerzy R. Hoffman
- 申请人地址： US CA San Diego
- 专利权人： Cymer, Inc.
- 当前专利权人： Cymer, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA San Diego
- 主分类号： H01S3/22
- IPC分类号： H01S3/22 ; H01S3/00
摘要：
A device is described herein which may comprise an oscillator having an oscillator cavity length, L0, and defining an oscillator path; and a multi-pass optical amplifier coupled with the oscillator to establish a combined optical cavity including the oscillator path, the combined cavity having a length, Lcombined, where Lcombined=(N+x)*L0, where “N” is an integer and “x” is a number between 0.4 and 0.6.
摘要（中）：
本文描述了一种器件，其可以包括具有振荡器腔长度L0并且限定振荡器路径的振荡器; 和与所述振荡器耦合的多通光放大器以建立包括所述振荡器路径的组合光腔，所述组合腔具有长度L组合，其中L组合=（N + x）* L0，其中“N”是整数， “x”是介于0.4和0.6之间的数字。
公开/授权文献:
- US08514486B2 Drive laser for EUV light source 公开/授权日：2013-08-20