基本信息:
- 专利标题： ELECTROSTATIC CHUCK
- 专利标题（中）：静电卡
- 申请号：US12714654 申请日：2010-03-01
- 公开(公告)号：US20100220425A1 公开(公告)日：2010-09-02
- 发明人： Hiroshi Yonekura , Koki Tamagawa
- 申请人： Hiroshi Yonekura , Koki Tamagawa
- 申请人地址： JP Nagano-shi
- 专利权人： SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 当前专利权人： SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
- 当前专利权人地址： JP Nagano-shi
- 优先权： JP2009-047767 20090302
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
An electrostatic chuck includes a dielectric layer 30 formed with an attraction and fix face onto which a plate member 10 is attracted and fixed, wherein the attraction and fix face of the dielectric layer 30 is formed with a plurality of projection parts 32 each with only a tip face abutting the plate member 10 formed as a flat face by grinding and formed with a coolant gas flow path 36 where a coolant gas flows is opened to the flat face of each of the projection parts 32.
摘要（中）：
静电卡盘包括形成有吸引和固定面板10的电介质层30，其中，电介质层30的吸引和固定面形成有多个突起部32，每个突起部32仅具有 通过研磨而与形成为平坦面的板状构件10抵接的端面与形成有冷却剂气体流动的冷却剂气体流路36形成为每个突出部32的平坦面。
公开/授权文献:
- US08023248B2 Electrostatic chuck 公开/授权日：2011-09-20