基本信息:
- 专利标题： 氣體噴灑頭 GAS SHOWERHEAD
- 专利标题（英）：Gas showerhead
- 专利标题（中）：气体喷洒头 GAS SHOWERHEAD
- 申请号：TW100224937 申请日：2011-12-29
- 公开(公告)号：TWM430479U 公开(公告)日：2012-06-01
- 发明人： 陳建志 , 王慶鈞 , 黃智勇 , 簡榮禎 , 蔡陳德 , 林龔樑
- 申请人： 財團法人工業技術研究院
- 申请人地址： INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 新竹縣竹東鎮中興路4段195號 TW
- 专利权人： 財團法人工業技術研究院
- 当前专利权人： 財團法人工業技術研究院
- 当前专利权人地址： INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 新竹縣竹東鎮中興路4段195號 TW
- 代理人： 詹銘文; 葉璟宗
- 主分类号： C23C
- IPC分类号： C23C
摘要：
一種氣體噴灑頭，至少包括一噴灑頭主體，其特徵在於：噴灑頭主體具有一氣體作用表面及多個進氣孔，進氣孔是沿氣體作用表面上的兩垂直方向呈45度角對稱分布，且進氣孔總個數在980個～1050個之間。部份進氣孔的位置被多個觀察孔取代，且該些觀察孔呈直線排列。
摘要（中）：
一种气体喷洒头，至少包括一喷洒头主体，其特征在于：喷洒头主体具有一气体作用表面及多个进气孔，进气孔是沿气体作用表面上的两垂直方向呈45度角对称分布，且进气孔总个数在980个～1050个之间。部份进气孔的位置被多个观察孔取代，且该些观察孔呈直线排列。
摘要（英）：
A gas showerhead including at least a showerhead body is provided, which is characterized in that the showerhead body has a gas-active surface and a plurality of intake bores. The plurality of intake bores is 45 degree symmetrically distributed with respect to two mutually perpendicular directions on the gas-active surface. The total amount of the intake bores is between 980 to 1050. Part of positions of the intake bores is replaced by a plurality of viewports, and the viewports are aligned in a line.