基本信息:
- 专利标题： 基板支撐及擋板設備
- 专利标题（英）：SUBSTRATE SUPPORT AND BAFFLE APPARATUS
- 专利标题（中）：基板支撑及挡板设备
- 申请号：TW108125950 申请日：2016-09-29
- 公开(公告)号：TWI699854B 公开(公告)日：2020-07-21
- 发明人： 寇克 羅門 , GOUK, ROMAN , 陳 翰文 , CHEN, HAN-WEN , 維哈佛貝可 史帝文 , VERHAVERBEKE, STEVEN , 德爾馬斯 琴 , DELMAS, JEAN
- 申请人： 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 李世章; 彭國洋
- 优先权： 62/236,915 20151004
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683