基本信息:
- 专利标题： 具有非電力吸收之介電氣體噴灑板組件的電漿反應器
- 专利标题（英）：Plasma reactor with non-power-absorbing dielectric gas shower plate assembly
- 专利标题（中）：具有非电力吸收之介电气体喷洒板组件的等离子反应器
- 申请号：TW104125696 申请日：2015-08-06
- 公开(公告)号：TWI663625B 公开(公告)日：2019-06-21
- 发明人： 史托威爾麥克W , STOWELL, MICHAEL W. , 梁奇偉 , LIANG, QIWEI
- 申请人： 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 美商應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 14/516,998 20141017
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
公开/授权文献:
- TW201616549A 具有非電力吸收之介電氣體噴灑板組件的電漿反應器 公开/授权日：2016-05-01