基本信息:
- 专利标题： 具有非電力吸收之介電氣體噴灑板組件的電漿反應器
- 专利标题（英）：Plasma reactor with non-power-absorbing dielectric gas shower plate assembly
- 专利标题（中）：具有非电力吸收之介电气体喷洒板组件的等离子反应器
- 申请号：TW104125696 申请日：2015-08-06
- 公开(公告)号：TW201616549A 公开(公告)日：2016-05-01
- 发明人： 史托威爾麥克W , STOWELL, MICHAEL W. , 梁奇偉 , LIANG, QIWEI
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 14/516,998 20141017
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
摘要：
用於電漿反應器的氣體分配板具有接合在一起的介電前板及介電背板，帶有氣體注射孔延伸穿過前板且在前板表面中的氣體供應通道面對背板。背板被結合至熱反射板，或背板本身由熱反射材料形成，例如氧化鈹。
摘要（中）：
用于等离子反应器的气体分配板具有接合在一起的介电前板及介电背板，带有气体注射孔延伸穿过前板且在前板表面中的气体供应信道面对背板。背板被结合至热反射板，或背板本身由热反射材料形成，例如氧化铍。
摘要（英）：
A gas distribution plate for a plasma reactor has a dielectric front plate and a dielectric back plate bonded together, with gas injection orifices extending through the front plate and gas supply channels in the surface of front plate facing the back plate. The back plate is joined to a heat reflective plate, or the back plate itself is formed of a heat reflective material, such as Beryllium Oxide.
公开/授权文献:
- TWI663625B 具有非電力吸收之介電氣體噴灑板組件的電漿反應器 公开/授权日：2019-06-21