基本信息:
- 专利标题： 用於批次處理的傾斜板及其使用方法
- 专利标题（英）：TILTED PLATE FOR BATCH PROCESSING AND METHODS OF USE
- 专利标题（中）：用于批次处理的倾斜板及其使用方法
- 申请号：TW103140849 申请日：2014-11-25
- 公开(公告)号：TWI645065B 公开(公告)日：2018-12-21
- 发明人： 尤都史凱約瑟夫 , YUDOVSKY, JOSEPH , 葛瑞芬凱文 , GRIFFIN, KEVIN
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/909,291 20131126
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; H01L21/67
公开/授权文献:
- TW201520363A 用於批次處理的傾斜板及其使用方法 公开/授权日：2015-06-01