基本信息:
- 专利标题： 基板支承裝置
- 专利标题（中）：基板支承设备
- 申请号：TW106108716 申请日：2013-04-12
- 公开(公告)号：TWI624001B 公开(公告)日：2018-05-11
- 发明人： 加藤正紀 , KATO, MASAKI , 鬼頭義昭 , KITO, YOSHIAKI , 堀正和 , HORI, MASAKAZU , 木內徹 , KIUCHI, TOHRU
- 申请人： 尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
- 专利权人： 尼康股份有限公司,NIKON CORPORATION
- 当前专利权人： 尼康股份有限公司,NIKON CORPORATION
- 代理人： 閻啟泰; 林景郁
- 优先权： JP2012-188116 20120828
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L27/12 ; G03F7/20
公开/授权文献:
- TW201727818A 基板支承裝置 公开/授权日：2017-08-01