基本信息:
- 专利标题： 電漿處理裝置用的零件的製造方法
- 专利标题（英）：Method for producing parts for plasma treatment device
- 专利标题（中）：等离子处理设备用的零件的制造方法
- 申请号：TW104130520 申请日：2015-09-16
- 公开(公告)号：TWI616558B 公开(公告)日：2018-03-01
- 发明人： 長山將之 , NAGAYAMA, NOBUYUKI , 三橋康至 , MITSUHASHI, KOJI , 虻川志向 , ABUKAWA, SHIKOU , 永井正也 , NAGAI, MASAYA , 金澤義典 , KANAZAWA, YOSHINORI , 仁矢鐵也 , NIYA, TETSUYA
- 申请人： 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 都卡洛股份有限公司 , TOCALO CO., LTD.
- 专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,都卡洛股份有限公司,TOCALO CO., LTD.
- 当前专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,都卡洛股份有限公司,TOCALO CO., LTD.
- 代理人： 周良謀; 周良吉
- 优先权： 2014-188695 20140917;2015-129940 20150629
- 主分类号： C23C4/12
- IPC分类号： C23C4/12 ; C23C4/06 ; C23C4/08 ; C23C4/10
公开/授权文献:
- TW201621065A 電漿處理裝置用的零件及該零件的製造方法 公开/授权日：2016-06-16