基本信息:
- 专利标题： 微粒合成之裝置及方法
- 专利标题（英）：Particle synthesis apparatus and methods
- 专利标题（中）：微粒合成之设备及方法
- 申请号：TW101129214 申请日：2012-08-13
- 公开(公告)号：TWI616020B 公开(公告)日：2018-02-21
- 发明人： 楊彔 , YANG, LU , 胡喬瑟夫湯瑪士 , HOOG, JOSEF THOMAS , 王苗君 , WANG, MIAOJUN , 曾冬利 , ZENG, DONGLI , 貝奇拉奇羅柏特Z , BACHRACH, ROBERT Z. , 柏藍迪佛曼 , BOLANDI, HOOMAN , 羅巴廷舍傑D , LOPATIN, SERGEY D.
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/522,920 20110812;13/572,047 20120810
- 主分类号： H01M4/505
- IPC分类号： H01M4/505 ; H01M4/525 ; H01M4/139
公开/授权文献:
- TW201318256A 微粒合成之裝置及方法 公开/授权日：2013-05-01