基本信息:

• 专利标题： 封閉的ＭＥＭＳ裝置之內部電接觸
• 专利标题（英）：Internal electrical contact for enclosed mems devices
• 专利标题（中）：封闭的ＭＥＭＳ设备之内部电接触
• 申请号：TW103103179 申请日：2014-01-28
• 公开(公告)号：TWI611531B 公开(公告)日：2018-01-11
• 发明人： 黃 克剛 , HUANG, KEGANG , 辛 宗祐 , SHIN, JONGWOO , 林 馬汀 , LIM, MARTIN , 戴恩曼 麥可 茱莉安 , DANEMAN, MICHAEL JULIAN , 席格 喬瑟夫 , SEEGER, JOSEPH
• 申请人： 伊凡聖斯股份有限公司 ,  INVENSENSE, INC.
• 专利权人： 伊凡聖斯股份有限公司,INVENSENSE, INC.
• 当前专利权人： 伊凡聖斯股份有限公司,INVENSENSE, INC.
• 代理人： 賴安國; 王立成
• 优先权： 13/754,462 20130130
• 主分类号： H01L23/48
• IPC分类号： H01L23/48 ; H01L21/60

公开/授权文献:

• TW201442173A  封閉的ＭＥＭＳ裝置之內部電接觸 公开/授权日：2014-11-01

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