基本信息:

• 专利标题： 用於感測在負載杯中的基材的方法與裝置
• 专利标题（英）：Methods and apparatus for sensing a substrate in a load cup
• 专利标题（中）：用于传感在负载杯中的基材的方法与设备
• 申请号：TW102102339 申请日：2013-01-22
• 公开(公告)号：TWI588447B 公开(公告)日：2017-06-21
• 发明人： 李許卡大衛J , LISCHKA, DAVID J. , 艾特金森吉姆K , ATKINSON, JIM K. , 多明強納森保羅 , DOMIN, JONATHAN PAUL , 劉士悠 , LIU, ANDREW
• 申请人： 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.
• 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
• 代理人： 蔡坤財; 李世章
• 优先权： 13/360,342 20120127
• 主分类号： G01B7/14
• IPC分类号： G01B7/14

公开/授权文献:

• TW201344154A  用於感測在負載杯中的基材的方法與裝置 公开/授权日：2013-11-01

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