基本信息:
- 专利标题： 用於感測在負載杯中的基材的方法與裝置
- 专利标题（英）：Methods and apparatus for sensing a substrate in a load cup
- 专利标题（中）：用于传感在负载杯中的基材的方法与设备
- 申请号：TW102102339 申请日：2013-01-22
- 公开(公告)号：TW201344154A 公开(公告)日：2013-11-01
- 发明人： 李許卡大衛J , LISCHKA, DAVID J. , 艾特金森吉姆K , ATKINSON, JIM K. , 多明強納森保羅 , DOMIN, JONATHAN PAUL , 劉士悠 , LIU, ANDREW
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 13/360,342 20120127
- 主分类号： G01B7/14
- IPC分类号： G01B7/14
摘要：
本申請案提供了用於偵測在負載杯中基材之存在的方法、裝置及系統。本發明包括近接感測器，該感測器具有偵測墊，該偵測墊安置於負載杯總成之接觸表面下方；該感測器具有靶材，該靶材安置於槓桿部件上，並經調適以在基材位於槓桿部件上時移向偵測墊，以及經調適以在基材自槓桿部件移除時移離偵測墊。本申請案揭示了多種其他態樣。
摘要（中）：
本申请案提供了用于侦测在负载杯中基材之存在的方法、设备及系统。本发明包括近接传感器，该传感器具有侦测垫，该侦测垫安置于负载杯总成之接触表面下方；该传感器具有靶材，该靶材安置于杠杆部件上，并经调适以在基材位于杠杆部件上时移向侦测垫，以及经调适以在基材自杠杆部件移除时移离侦测垫。本申请案揭示了多种其他态样。
摘要（英）：
Methods, apparatus, and systems are provided for detecting the presence of a substrate in a load cup. The invention includes a proximity sensor having a detection pad disposed below a contact surface of a load cup assembly and a target disposed on a lever member and adapted to move toward the detection pad when a substrate is placed on the lever member and adapted to move away from the detection pad when a substrate is removed from the lever member. Numerous additional aspects are disclosed.
公开/授权文献:
- TWI588447B 用於感測在負載杯中的基材的方法與裝置 公开/授权日：2017-06-21
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B7/00 | 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 |
| --------G01B7/14 | .用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙 |