基本信息:

• 专利标题： 光束成形模組及用於該光束成形模組的控制系統
• 专利标题（英）：Beam shaping module and control system therefor
• 专利标题（中）：光束成形模块及用于该光束成形模块的控制系统
• 申请号：TW102123029 申请日：2013-06-27
• 公开(公告)号：TWI576611B 公开(公告)日：2017-04-01
• 发明人： 克利薛爾賓亞 , KIRSHNER, BINYAMIN , 艾達爾漢姆 , EDER, HAIM
• 申请人： 應用材料以色列公司 ,  APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
• 专利权人： 應用材料以色列公司,APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
• 当前专利权人： 應用材料以色列公司,APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
• 代理人： 李世章; 彭國洋
• 优先权： 13/849,187 20130322
• 主分类号： G02B27/09
• IPC分类号： G02B27/09

公开/授权文献:

• TW201437683A  可校正光束成形系統及方法 公开/授权日：2014-10-01

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