基本信息:

• 专利标题： 鎢化學機械拋光組合物
• 专利标题（英）：Tungsten chemical-mechanical polishing composition
• 专利标题（中）：钨化学机械抛光组合物
• 申请号：TW104120492 申请日：2015-06-25
• 公开(公告)号：TWI561621B 公开(公告)日：2016-12-11
• 发明人： 富琳 , FU, LIN , 古朗班 史提芬 , GRUMBINE, STEVEN , 戴沙爾德 傑夫瑞 , DYSARD, JEFFREY , 李 常怡 , LI, TINA
• 申请人： 卡博特微電子公司 ,  CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
• 专利权人： 卡博特微電子公司,CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
• 当前专利权人： 卡博特微電子公司,CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
• 代理人： 陳翠華
• 优先权： 62/017,100 20140625;62/017,002 20140625
• 主分类号： C09K3/14
• IPC分类号： C09K3/14 ; C09G1/02 ; H01L21/304

公开/授权文献:

• TW201612285A  鎢化學機械拋光組合物 公开/授权日：2016-04-01

信息查询: