基本信息:
- 专利标题： 蒸氣遞送裝置及其製造及使用方法
- 专利标题（英）：Vapor delivery device, methods of manufacture and methods of use thereof
- 专利标题（中）：蒸气递送设备及其制造及使用方法
- 申请号：TW101115943 申请日：2012-05-04
- 公开(公告)号：TWI553147B 公开(公告)日：2016-10-11
- 发明人： 渥克 艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世 郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
- 申请人： 羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
- 专利权人： 羅門哈斯電子材料有限公司,ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
- 当前专利权人： 羅門哈斯電子材料有限公司,ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
- 代理人： 洪武雄; 陳昭誠
- 优先权： 13/114,794 20110524
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455
公开/授权文献:
- TW201305381A 蒸氣遞送裝置及其製造及使用方法 公开/授权日：2013-02-01