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1. 发明专利

TW201410913A 蒸汽遞送裝置、製造方法及其使用方法审中-公开
简体标题：蒸汽递送设备、制造方法及其使用方法
公开(公告)号：TW201410913A
公开(公告)日：2014-03-16
申请号：TW102124868
申请日：2013-07-11
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/455 , F22B35/16
CPC分类号： C23C16/45512 , B01F3/028 , B01F15/00331 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , C23C16/45561 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/165 , C30B29/40 , Y10T137/0318 , Y10T137/2509
摘要：一種方法，其係包含：將載氣之第一料流傳輸至含有液體前驅化合物之遞送裝置。該方法復包含將該載氣之第二料流傳輸至該遞送裝置之下游點。將離開該遞送裝置之第一料流與該第二料流合併以形成第三料流，藉此該第三料流中之該液體前驅化合物之蒸汽的露點係低於將該蒸汽傳輸至CVD反應器或複數個CVD反應器之管道的溫度。該第一料流之流動方向、該第二料流之流動方向以及該第三料流之流動方向均係單向且並不彼此相反。
简体摘要：一种方法，其系包含：将载气之第一料流传输至含有液体前驱化合物之递送设备。该方法复包含将该载气之第二料流传输至该递送设备之下游点。将离开该递送设备之第一料流与该第二料流合并以形成第三料流，借此该第三料流中之该液体前驱化合物之蒸汽的露点系低于将该蒸汽传输至CVD反应器或复数个CVD反应器之管道的温度。该第一料流之流动方向、该第二料流之流动方向以及该第三料流之流动方向均系单向且并不彼此相反。

2. 发明专利

TWI473653B 遞送裝置及其使用方法有权
简体标题：递送设备及其使用方法
公开(公告)号：TWI473653B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW100128308
申请日：2011-08-09
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR.,, RONALD L.
IPC分类号： B01J3/00 , B01J3/02 , H01L21/00
CPC分类号： C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4483 , C23C16/45591

3. 发明专利

TW201303540A 蒸氣遞送裝置及其製造及使用方法审中-公开
简体标题：蒸气递送设备及其制造及使用方法
公开(公告)号：TW201303540A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101115942
申请日：2012-05-04
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： G05D7/00 , C23C16/448 , C23C16/52
CPC分类号： G05D11/138 , C23C16/4481 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/0318 , Y10T137/0324 , Y10T137/0335 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/7761
摘要：一種包含輸送第一載體氣流至含有固體前驅物化合物之遞送裝置的方法。該第一載體氣流的溫度為大於或等於20℃。該方法進一步包含輸送第二載體氣流至該遞送裝置的的下游點。組合該第一流及第二流以形成第三流，致使在該第三流中之該前驅物化合物的蒸氣之露點低於周圍溫度。第一流的流動方向、第二流的流動方向及第三流的流動方向為單方向性，而且不會彼此相反向。
简体摘要：一种包含输送第一载体气流至含有固体前驱物化合物之递送设备的方法。该第一载体气流的温度为大于或等于20℃。该方法进一步包含输送第二载体气流至该递送设备的的下游点。组合该第一流及第二流以形成第三流，致使在该第三流中之该前驱物化合物的蒸气之露点低于周围温度。第一流的流动方向、第二流的流动方向及第三流的流动方向为单方向性，而且不会彼此相反向。

4. 发明专利

TWI553147B 蒸氣遞送裝置及其製造及使用方法有权
简体标题：蒸气递送设备及其制造及使用方法
公开(公告)号：TWI553147B
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：TW101115943
申请日：2012-05-04
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/52 , B01D7/00 , C23C16/4481 , C23C16/45512 , C23C16/45557 , C23C16/45561 , C30B25/14 , C30B25/165 , G05D11/138 , Y10T137/0318 , Y10T137/2499 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/2559 , Y10T137/2562 , Y10T137/265 , Y10T137/2657 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761

5. 发明专利

TWI482875B 固定濃度蒸發之方法及使用該方法之裝置有权
简体标题：固定浓度蒸发之方法及使用该方法之设备
公开(公告)号：TWI482875B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW100100904
申请日：2011-01-11
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/205
CPC分类号： B01B1/005 , B01B1/06 , C23C16/4482

6. 发明专利

TW201305381A 蒸氣遞送裝置及其製造及使用方法审中-公开
简体标题：蒸气递送设备及其制造及使用方法
公开(公告)号：TW201305381A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101115943
申请日：2012-05-04
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/52 , B01D7/00 , C23C16/4481 , C23C16/45512 , C23C16/45557 , C23C16/45561 , C30B25/14 , C30B25/165 , G05D11/138 , Y10T137/0318 , Y10T137/2499 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/2559 , Y10T137/2562 , Y10T137/265 , Y10T137/2657 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761
摘要：一種包含輸送第一載體氣體流至含有固體前驅物化合物之遞送裝置的方法。該第一載體氣體流的溫度為大於或等於20℃。該方法進一步包含輸送第二載體氣體流至該遞送裝置的下游處。組合該第一流及第二流以形成第三流，而使得在該第三流中之該前驅物化合物的蒸氣露點低於環境溫度。第一流的流動方向、第二流的流動方向及第三流的流動方向為單向且非為彼此反向。
简体摘要：一种包含输送第一载体气体流至含有固体前驱物化合物之递送设备的方法。该第一载体气体流的温度为大于或等于20℃。该方法进一步包含输送第二载体气体流至该递送设备的下游处。组合该第一流及第二流以形成第三流，而使得在该第三流中之该前驱物化合物的蒸气露点低于环境温度。第一流的流动方向、第二流的流动方向及第三流的流动方向为单向且非为彼此反向。

7. 发明专利

TWI568882B 蒸汽遞送裝置、製造方法及其使用方法有权
简体标题：蒸汽递送设备、制造方法及其使用方法
公开(公告)号：TWI568882B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW102124868
申请日：2013-07-11
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/455 , F22B35/16
CPC分类号： C23C16/45512 , B01F3/028 , B01F15/00331 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , C23C16/45561 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/165 , C30B29/40 , Y10T137/0318 , Y10T137/2509

8. 发明专利

TWI509380B 蒸氣遞送系統及蒸氣遞送方法有权
简体标题：蒸气递送系统及蒸气递送方法
公开(公告)号：TWI509380B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW101115942
申请日：2012-05-04
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： G05D7/00 , C23C16/448 , C23C16/52
CPC分类号： G05D11/138 , C23C16/4481 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/0318 , Y10T137/0324 , Y10T137/0335 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/7761

9. 发明专利

TW201210692A 遞送裝置及其使用方法 DELIVERY DEVICE AND METHOD OF USE THEREOF 审中-公开
简体标题：递送设备及其使用方法 DELIVERY DEVICE AND METHOD OF USE THEREOF
公开(公告)号：TW201210692A
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：TW100128308
申请日：2011-08-09
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司
发明人：渥克艾格伯特 , 迪卡洛二世郎洛德L
IPC分类号： B01J , H01L
CPC分类号： C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4483 , C23C16/45591
摘要：一種遞送裝置，包含入口以及出口。該遞送裝置包含入口室以及出口室，該出口室係相對於該入口室設置且透過錐形部與該入口室流體連通。該出口室包含迷路，該迷路用來防止包含於遞送裝置中之固體先質化合物之粒子離開該遞送裝置並同時允許該固體先質化合物之蒸氣透過該出口離開該遞送裝置。
简体摘要：一种递送设备，包含入口以及出口。该递送设备包含入口室以及出口室，该出口室系相对于该入口室设置且透过锥形部与该入口室流体连通。该出口室包含迷路，该迷路用来防止包含于递送设备中之固体先质化合物之粒子离开该递送设备并同时允许该固体先质化合物之蒸气透过该出口离开该递送设备。

10. 发明专利

TW201137161A 固定濃度蒸發之方法及使用該方法之裝置 METHOD FOR CONSTANT CONCENTRATION EVAPORATION AND A DEVICE USING THE SAME 审中-公开
简体标题：固定浓度蒸发之方法及使用该方法之设备 METHOD FOR CONSTANT CONCENTRATION EVAPORATION AND A DEVICE USING THE SAME
公开(公告)号：TW201137161A
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：TW100100904
申请日：2011-01-11
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司
发明人：渥克艾格伯特 , 迪卡洛二世郎洛德L
IPC分类号： C23C , H01L
CPC分类号： B01B1/005 , B01B1/06 , C23C16/4482
摘要：本發明揭露一種裝置，包括蒸發器及熱交換器；該熱交換器與蒸發器流體連通；蒸發器包括外殼體及內殼體，該內殼體設置於該外殼體內；該內殼體接觸板體；其中，該內殼體包封第一導管，該第一導管操作以將載體流體導入蒸發器；以及第二導管，該第二導管操作以移除夾帶有前驅物的載體流體；其中，該外殼體可拆卸地附裝於該板體；該板體接觸第一前驅物導管，該第一前驅物導管操作以將該前驅物從該熱交換器導入該蒸發器；其中，當圍繞該熱交換器及蒸發器的環境溫度波動達約±35℃的量時，該熱交換器以有效地將蒸發器中的前驅物維持在實質上恆定溫度下之距離而設置於鄰近該蒸發器。
简体摘要：本发明揭露一种设备，包括蒸发器及热交换器；该热交换器与蒸发器流体连通；蒸发器包括外壳体及内壳体，该内壳体设置于该外壳体内；该内壳体接触板体；其中，该内壳体包封第一导管，该第一导管操作以将载体流体导入蒸发器；以及第二导管，该第二导管操作以移除夹带有前驱物的载体流体；其中，该外壳体可拆卸地附装于该板体；该板体接触第一前驱物导管，该第一前驱物导管操作以将该前驱物从该热交换器导入该蒸发器；其中，当围绕该热交换器及蒸发器的环境温度波动达约±35℃的量时，该热交换器以有效地将蒸发器中的前驱物维持在实质上恒定温度下之距离而设置于邻近该蒸发器。

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