基本信息:
- 专利标题： 多區電漿生成之方法及設備
- 专利标题（英）：Method and appartus for multizone plasma generation
- 专利标题（中）：多区等离子生成之方法及设备
- 申请号：TW100127099 申请日：2011-07-29
- 公开(公告)号：TWI527928B 公开(公告)日：2016-04-01
- 发明人： 羅吉斯馬修史考特 , ROGERS, MATTHEW SCOTT , 華仲強 , HUA, ZHONG QIANG , 奧森克里斯多夫S , OLSEN, CHRISTOPHER S.
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/443,066 20110215
- 主分类号： C23C16/505
- IPC分类号： C23C16/505 ; H01L21/205