基本信息:
- 专利标题： 濺鍍裝置
- 专利标题（中）：溅镀设备
- 申请号：TW103113003 申请日：2014-04-09
- 公开(公告)号：TWI516626B 公开(公告)日：2016-01-11
- 发明人： 石原繁紀 , ISHIHARA, SHIGENORI
- 申请人： 佳能安內華股份有限公司 , CANON ANELVA CORPORATION
- 专利权人： 佳能安內華股份有限公司,CANON ANELVA CORPORATION
- 当前专利权人： 佳能安內華股份有限公司,CANON ANELVA CORPORATION
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2013-082484 20130410
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34
公开/授权文献:
- TW201510255A 濺鍍裝置 公开/授权日：2015-03-16