基本信息:
- 专利标题： 多層光阻層合體用剝離液及多層光阻層合體之處理方法
- 专利标题（中）：多层光阻层合体用剥离液及多层光阻层合体之处理方法
- 申请号：TW099108368 申请日：2010-03-22
- 公开(公告)号：TWI495966B 公开(公告)日：2015-08-11
- 发明人： 原口高之 , HARAGUCHI, TAKAYUKI , 米村幸治 , YONEMURA, KOJI , 山下直紀 , YAMASHITA, NAOKI , 橫井滋 , YOKOI, SHIGERU , 熊澤明 , KUMAZAWA, AKIRA , 江藤崇弘 , ETO, TAKAHIRO
- 申请人： 東京應化工業股份有限公司 , TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- 专利权人： 東京應化工業股份有限公司,TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- 当前专利权人： 東京應化工業股份有限公司,TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2009-072085 20090324;2009-271051 20091130
- 主分类号： G03F7/42
- IPC分类号： G03F7/42 ; C11D7/32 ; C11D7/50
公开/授权文献:
- TW201106117A 多層光阻層合體用剝離液及多層光阻層合體之處理方法 公开/授权日：2011-02-16