基本信息:

• 专利标题： 均熱板及應用該均熱板的基片處理設備
• 专利标题（中）：均热板及应用该均热板的基片处理设备
• 申请号：TW100144284 申请日：2011-12-02
• 公开(公告)号：TWI468637B 公开(公告)日：2015-01-11
• 发明人： 趙夢欣 , 劉旭 , 丁培軍 , 王厚工 , 夏威 , 文莉輝
• 申请人： 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司 ,  BEIJING NMC CO., LTD
• 专利权人： 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司,BEIJING NMC CO., LTD
• 当前专利权人： 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司,BEIJING NMC CO., LTD
• 代理人： 桂齊恆; 林景郁
• 优先权： 201010585727.2 20101206
• 主分类号： F28F3/02
• IPC分类号： F28F3/02 ; H01L21/324 ; C23C14/02

公开/授权文献:

• TW201224387A  均熱板及應用該均熱板的基片處理設備 公开/授权日：2012-06-16

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