基本信息:
- 专利标题： 具精確之粉末計量功能之汽化設備
- 专利标题（英）：Vaporization apparatus with precise powder metering
- 专利标题（中）：具精确之粉末计量功能之汽化设备
- 申请号：TW098100394 申请日：2009-01-07
- 公开(公告)号：TWI432596B 公开(公告)日：2014-04-01
- 发明人： 龍 麥可 , LONG, MICHAEL , 帕隆 湯瑪士W , PALONE, THOMAS W. , 寇佩 布魯斯E , KOPPE, BRUCE E. , 柏洛森 麥可L , BOROSON, MICHAEL L.
- 申请人： 全球OLED科技公司 , GLOBAL OLED TECHNOLOGY LLC
- 专利权人： 全球OLED科技公司,GLOBAL OLED TECHNOLOGY LLC
- 当前专利权人： 全球OLED科技公司,GLOBAL OLED TECHNOLOGY LLC
- 代理人： 洪堯順
- 优先权： 11/970,548 20080108
- 主分类号： C23C16/448
- IPC分类号： C23C16/448