基本信息:
- 专利标题： 圖案檢出方法及圖案檢出裝置 A METHOD OF DETECTING A PATTERN AND AN APPARATUS THEREOF
- 专利标题（英）：A method of detecting a pattern and an apparatus thereof
- 专利标题（中）：图案检出方法及图案检出设备 A METHOD OF DETECTING A PATTERN AND AN APPARATUS THEREOF
- 申请号：TW092132160 申请日：2003-11-17
- 公开(公告)号：TWI236562B 公开(公告)日：2005-07-21
- 发明人： 小菅正吾 KOSUGE, SHOGO , 野上大 NOGAMI, MASARU , 伊從潔 IYORI, KIYOSHI
- 申请人： 日立國際電氣股份有限公司 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 日立國際電氣股份有限公司 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
- 当前专利权人： 日立國際電氣股份有限公司 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 日本 2002-337503 20021121
- 主分类号： G03B
- IPC分类号： G03B
摘要：
以目視僅可看到登錄的對準標記的一部分會有無法檢出的情形，提供一種若可看到對準標記的一部分就可檢出圖案的方法及裝置。由此，可檢出對準標記的位置。將大約整體對準標記的畫像作為代表畫像進行登錄之外，重新將登錄的代表畫像的一部分作為部分畫像至少登錄一個。認識所登錄的代表畫像或部分畫像的任一畫像時，檢出依據該對準標記的圖案，由此可認識位置座標。
摘要（中）：
以目视仅可看到登录的对准标记的一部分会有无法检出的情形，提供一种若可看到对准标记的一部分就可检出图案的方法及设备。由此，可检出对准标记的位置。将大约整体对准标记的画像作为代表画像进行登录之外，重新将登录的代表画像的一部分作为部分画像至少登录一个。认识所登录的代表画像或部分画像的任一画像时，检出依据该对准标记的图案，由此可认识位置座标。
摘要（英）：
An alignment mark is sometimes undetectable even when part of it is visible with the eye. There is provided a pattern detecting method and an apparatus capable of detecting the alignment mark if part of it is visible. Thereby a position of the alignment mark can be detected. An image of a substantially whole of the alignment mark is registered as a representative image, besides, at least one image of a part of the registered representative image is newly registered as a partial image. When any one of the registered representative image and the partial image is recognized. The pattern based on the alignment mark is detected. Thereby position coordinates can be recognized.