基本信息:
- 专利标题： 多晶矽破碎物的製造方法、及管理多晶矽破碎物的表面金屬濃度的方法
- 专利标题（中）：多晶硅破碎物的制造方法、及管理多晶硅破碎物的表面金属浓度的方法
- 申请号：TW107113703 申请日：2018-04-23
- 公开(公告)号：TW201843361A 公开(公告)日：2018-12-16
- 发明人： 西村茂樹 , NISHIMURA, SHIGEKI
- 申请人： 日商德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
- 专利权人： 日商德山股份有限公司,TOKUYAMA CORPORATION
- 当前专利权人： 日商德山股份有限公司,TOKUYAMA CORPORATION
- 代理人： 洪澄文
- 优先权： 2017-085404 20170424
- 主分类号： C30B33/10
- IPC分类号： C30B33/10 ; C30B29/06
摘要：
本發明是關於一種多晶矽破碎物的製造方法，其包含：以西門子法製造多晶矽棒的步驟；將該多晶矽棒破碎，得到多晶矽破碎物的步驟；及在清洗槽內蝕刻多晶矽破碎物的清洗步驟，在該清洗步驟，使具有控制的形狀及尺寸的多晶矽小片群存在於清洗槽內，測定該多晶矽小片群在蝕刻處理前後的重量變化，管理清洗步驟的多晶矽破碎物的製造方法。此外，本發明是關於管理多晶矽破碎物的表面金屬濃度的方法。
摘要（中）：
本发明是关于一种多晶硅破碎物的制造方法，其包含：以西门子法制造多晶硅棒的步骤；将该多晶硅棒破碎，得到多晶硅破碎物的步骤；及在清洗槽内蚀刻多晶硅破碎物的清洗步骤，在该清洗步骤，使具有控制的形状及尺寸的多晶硅小片群存在于清洗槽内，测定该多晶硅小片群在蚀刻处理前后的重量变化，管理清洗步骤的多晶硅破碎物的制造方法。此外，本发明是关于管理多晶硅破碎物的表面金属浓度的方法。