基本信息:
- 专利标题： 感光性樹脂組成物、硬化膜、積層體、硬化膜的製造方法、 積層體的製造方法及半導體元件
- 专利标题（中）：感光性树脂组成物、硬化膜、积层体、硬化膜的制造方法、 积层体的制造方法及半导体组件
- 申请号：TW106125149 申请日：2017-07-26
- 公开(公告)号：TW201831995A 公开(公告)日：2018-09-01
- 发明人： 岩井悠 , IWAI, YU , 萬克魯斯特 斯特凡 , VANCLOOSTER, STEFAN , 楊森 多米尼克 , JANSSEN, DIMITRI , 巴特 卡斯珀 , BAERT, KASPER
- 申请人： 富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
- 专利权人： 富士軟片股份有限公司,FUJIFILM CORPORATION
- 当前专利权人： 富士軟片股份有限公司,FUJIFILM CORPORATION
- 代理人： 葉璟宗; 卓俊傑
- 优先权： 2016-151553 20160801;2016-256607 20161228
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/027 ; G03F7/029 ; G03F7/037
摘要：
本發明提供一種即使於低溫下亦能夠以高閉環率閉環，且使上述感光性樹脂組成物硬化而得到的硬化膜的玻璃化轉變溫度較高之感光性樹脂組成物、以及使用了上述感光性樹脂組成物之硬化膜、積層體、硬化膜的製造方法、積層體的製造方法及半導體元件。上述感光性樹脂組成物含有含雜環聚合物前驅物、熱鹼產生劑及包含第4族元素之有機化合物。
摘要（中）：
本发明提供一种即使于低温下亦能够以高闭环率闭环，且使上述感光性树脂组成物硬化而得到的硬化膜的玻璃化转变温度较高之感光性树脂组成物、以及使用了上述感光性树脂组成物之硬化膜、积层体、硬化膜的制造方法、积层体的制造方法及半导体组件。上述感光性树脂组成物含有含杂环聚合物前驱物、热碱产生剂及包含第4族元素之有机化合物。