基本信息:
- 专利标题: 產生聚合物膜的方法
- 专利标题(英):Method for producing polymer film
- 专利标题(中):产生聚合物膜的方法
- 申请号:TW106141605 申请日:2017-11-29
- 公开(公告)号:TW201829505A 公开(公告)日:2018-08-16
- 发明人: 柳亨周 , RYU, HYUNG JU , 具世真 , KU, SE JIN , 李美宿 , LEE, MI SOOK , 尹聖琇 , YOON, SUNG SOO , 朴魯振 , PARK, NO JIN , 金廷根 , KIM, JUNG KEUN , 李濟權 , LEE, JE GWON , 崔銀英 , CHOI, EUN YOUNG
- 申请人: 南韓商LG化學股份有限公司 , LG CHEM, LTD.
- 专利权人: 南韓商LG化學股份有限公司,LG CHEM, LTD.
- 当前专利权人: 南韓商LG化學股份有限公司,LG CHEM, LTD.
- 代理人: 林志剛
- 优先权: 10-2016-0162129 20161130
- 主分类号: C08F293/00
- IPC分类号: C08F293/00 ; C08F297/02 ; C08J5/18
摘要:
本案係關於一種製備聚合物膜的方法。本案係可在基板上有效形成具有高度對準之嵌段共聚物之聚合物膜而無位向缺陷、配位數缺陷、距離缺陷等的製備方法,其可提供製備聚合物膜的方法,該聚合物膜可有效應用於各種圖案化基板之製備,以及使用彼製備圖案化基板的方法。
摘要(中):
本案系关于一种制备聚合物膜的方法。本案系可在基板上有效形成具有高度对准之嵌段共聚物之聚合物膜而无位向缺陷、配位数缺陷、距离缺陷等的制备方法,其可提供制备聚合物膜的方法,该聚合物膜可有效应用于各种图案化基板之制备,以及使用彼制备图案化基板的方法。
公开/授权文献:
- TWI638838B 產生聚合物膜的方法 公开/授权日:2018-10-21