基本信息:
- 专利标题： 測量裝置、壓印設備、製造產品的方法、光量確定方法及光量調整方法
- 专利标题（英）：Measurement device, imprint apparatus, method for manufacturing product, light amount determination method, and light amount adjustment method
- 专利标题（中）：测量设备、压印设备、制造产品的方法、光量确定方法及光量调整方法
- 申请号：TW106112636 申请日：2017-04-14
- 公开(公告)号：TW201741646A 公开(公告)日：2017-12-01
- 发明人： 八重樫憲司 , YAEGASHI, KENJI , 岩井俊樹 , IWAI, TOSHIKI , 古卷貴光 , KOMAKI, TAKAMITSU
- 申请人： 佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
- 专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2016-087314 20160425
- 主分类号： G01N21/25
- IPC分类号： G01N21/25 ; G01B9/02 ; G01J9/00 ; G03F7/20
摘要：
一種用於測量對準標記之間的相對位置的測量裝置包括能夠以複數個波長照明對準標記的照明單元、檢測來自對準標記的光的檢測單元、獲得對準標記之間的相對位置的處理單元、以及調整單元，該調整單元調整複數個波長的光量之間的相對量，使得來自對準標記的光的檢測光量之間的相對值落在預定範圍內。
摘要（中）：
一种用于测量对准标记之间的相对位置的测量设备包括能够以复数个波长照明对准标记的照明单元、检测来自对准标记的光的检测单元、获得对准标记之间的相对位置的处理单元、以及调整单元，该调整单元调整复数个波长的光量之间的相对量，使得来自对准标记的光的检测光量之间的相对值落在预定范围内。
摘要（英）：
A measurement device for measuring a relative position between alignment marks includes an illumination unit capable of illuminating the alignment marks at a plurality of wavelengths, a detection unit that detects light from the alignment marks, a processing unit that obtain the relative position between the alignment marks, and an adjustment unit that adjusts a relative amount between light amounts of the plurality of wavelengths so that a relative value between detection light amounts of light from the alignment marks falls within a predetermined range.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/25 | ..颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响 |