基本信息:
- 专利标题： 照明裝置、光學裝置、壓印裝置、投影裝置、以及製造該物件的方法
- 专利标题（英）：Illumination apparatus, optical apparatus, imprint apparatus, projection apparatus, and method of manufacturing article
- 专利标题（中）：照明设备、光学设备、压印设备、投影设备、以及制造该对象的方法
- 申请号：TW106109382 申请日：2017-03-21
- 公开(公告)号：TW201736901A 公开(公告)日：2017-10-16
- 发明人： 宮春文 , MIYAHARU, TAKAFUMI , 篠田健一郎 , SHINODA, KEN-ICHIRO , 松本宏 , MATSUMOTO, TAKAHIRO , 佐藤一洋 , SATO, KAZUHIRO
- 申请人： 佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
- 专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： 佳能股份有限公司,CANON KABUSHIKI KAISHA
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2016-073177 20160331
- 主分类号： G02B21/06
- IPC分类号： G02B21/06 ; G02B21/04 ; G02B27/18 ; G03F7/20
摘要：
本發明提供執行傾斜照射的照射裝置，該照射裝置包括：第一光學元件，其由多個光學部件的陣列形成，各個光學部件經組構以產生點光源；以及第二光學元件，經組構以接收來自所述第一光學元件的光並形成照射區域，所述第二光學元件在一個方向上的屈光力不同於所述第二光學元件在與所述一個方向垂直的方向上的屈光力，其中，所述第一光學元件和所述第二光學元件中的至少一個具有圍繞光學元件的光軸的旋轉角度，以對由所述傾斜照射而引起的所述照射區域的失真進行補償。
摘要（中）：
本发明提供运行倾斜照射的照射设备，该照射设备包括：第一光学组件，其由多个光学部件的数组形成，各个光学部件经组构以产生点光源；以及第二光学组件，经组构以接收来自所述第一光学组件的光并形成照射区域，所述第二光学组件在一个方向上的屈光力不同于所述第二光学组件在与所述一个方向垂直的方向上的屈光力，其中，所述第一光学组件和所述第二光学组件中的至少一个具有围绕光学组件的光轴的旋转角度，以对由所述倾斜照射而引起的所述照射区域的失真进行补偿。
摘要（英）：
The present invention provides an illumination apparatus which performs oblique illumination, the apparatus including a first optical element formed with an array of a plurality of optical components each configured to generate a point light source, and a second optical element configured to receive light from the first optical element and form an illumination region, with a power thereof in one direction being different from a power thereof in a direction perpendicular to the one direction, wherein at least one of the first optical element and the second optical element has a rotation angle about an optical axis thereof so as to perform compensate for distortion of the illumination region by the oblique illumination.