基本信息:
- 专利标题： 工具自動教導方法及設備
- 专利标题（英）：Tool auto-teach method and apparatus
- 专利标题（中）：工具自动教导方法及设备
- 申请号：TW104137024 申请日：2015-11-10
- 公开(公告)号：TW201634198A 公开(公告)日：2016-10-01
- 发明人： 摩拉 傑羅 , MOURA, JAIRO TERRA , 蓋立克 艾倫 , GAWLIK, AARON , 賽德派瑞 瑞薩 , SAEIDPOURAZAR, REZA
- 申请人： 布魯克斯自動機械公司 , BROOKS AUTOMATION, INC.
- 专利权人： 布魯克斯自動機械公司,BROOKS AUTOMATION, INC.
- 当前专利权人： 布魯克斯自動機械公司,BROOKS AUTOMATION, INC.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 62/077,775 20141110;62/078,345 20141111;62/191,829 20150713;62/247,647 20151028
- 主分类号： B25J9/00
- IPC分类号： B25J9/00 ; H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/687
摘要：
用於自動教導基板站地點的基板運送設備自動教導系統，該系統包括機架；基板運送器，被連接至該機架，該基板運送器具有被建構來支撐基板之末端執行器；及控制器，被建構來移動該基板運送器，以致該基板運送器使被支撐在該末端執行器上的基板偏向抵靠著基板站部件，造成該基板與該末端執行器間之偏心率中的變化，決定偏心率中之變化，及至少基於該基板與該末端執行器間之偏心率中的變化來決定該基板站地點。
摘要（中）：
用于自动教导基板站地点的基板运送设备自动教导系统，该系统包括机架；基板运送器，被连接至该机架，该基板运送器具有被建构来支撑基板之末端运行器；及控制器，被建构来移动该基板运送器，以致该基板运送器使被支撑在该末端运行器上的基板偏向抵靠着基板站部件，造成该基板与该末端运行器间之偏心率中的变化，决定偏心率中之变化，及至少基于该基板与该末端运行器间之偏心率中的变化来决定该基板站地点。
摘要（英）：
A substrate transport apparatus auto-teach system for auto-teaching a substrate station location, the system including a frame, a substrate transport connected to the frame, the substrate transport having an end effector configured to support a substrate, and a controller configured to move the substrate transport so that the substrate transport biases the substrate supported on the end effector against a substrate station feature causing a change in eccentricity between the substrate and the end effector, determine the change in eccentricity, and determine the substrate station location based on at least the change in eccentricity between the substrate and the end effector.
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B25 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 |
| ----B25J | 机械手；装有操纵装置的容器 |
| ------B25J9/00 | 程序控制机械手 |