基本信息:
- 专利标题： 表層用黏著劑、使用該黏著劑之表層、及表層之評估方法
- 专利标题（英）：An agglutinant for pellicle, a pellicle using it and a method for evaluating pellicle
- 专利标题（中）：表层用黏着剂、使用该黏着剂之表层、及表层之评估方法
- 申请号：TW104135436 申请日：2015-10-28
- 公开(公告)号：TW201631101A 公开(公告)日：2016-09-01
- 发明人： 堀越淳 , HORIKOSHI, JUN , 簗瀬優 , YANASE, YU
- 申请人： 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 代理人： 林志剛
- 优先权： 2014-261591 20141225
- 主分类号： C09J183/04
- IPC分类号： C09J183/04 ; C09J133/00 ; C09J11/04 ; C09K11/80 ; C09J9/00 ; G03F1/64 ; G03F1/84 ; H01L21/67
摘要：
本發明係提供一種可容易且正確地評估塗佈於表層框體上之黏著劑的凹凸、起伏狀態之表層用黏著劑、使用該黏著劑之表層、及表層之評估方法。 本發明之解決手段係用以將表層貼黏在光罩之表層用黏著劑，且於黏著劑添加應力發光材料者。
摘要（中）：
本发明系提供一种可容易且正确地评估涂布于表层框体上之黏着剂的凹凸、起伏状态之表层用黏着剂、使用该黏着剂之表层、及表层之评估方法。 本发明之解决手段系用以将表层贴黏在光罩之表层用黏着剂，且于黏着剂添加应力发光材料者。
摘要（英）：
A pellicle is proposed in which the agglutinant layer which enable the pellicle to be adhered to a photomask is doped with a mechanoluminescent material so that the uniformness of the thickness of the agglutinant layer can be confirmed, when the pellicle is adhered to the photomask, by observing visually or by CCD camera for any irregularity in the pattern of the light emitted from the agglutinant layer.
公开/授权文献:
- TWI682981B 表層用黏著劑、使用該黏著劑之表層、及表層之評估方法 公开/授权日：2020-01-21