基本信息:
- 专利标题： 用於批次處理的傾斜板及其使用方法
- 专利标题（英）：Tilted plate for batch processing and methods of use
- 专利标题（中）：用于批次处理的倾斜板及其使用方法
- 申请号：TW103140849 申请日：2014-11-25
- 公开(公告)号：TW201520363A 公开(公告)日：2015-06-01
- 发明人： 尤都史凱約瑟夫 , YUDOVSKY, JOSEPH , 葛瑞芬凱文 , GRIFFIN, KEVIN
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 61/909,291 20131126
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; H01L21/67
摘要：
提供一種用於處理多個基板的處理腔室及方法且其一般包括氣體分配組件、基座組件與氣體分流器，基座組件將基板沿著鄰近各氣體分配組件的路徑旋轉，氣體分流器改變處理腔室中的氣體流動角度。
摘要（中）：
提供一种用于处理多个基板的处理腔室及方法且其一般包括气体分配组件、基座组件与气体分流器，基座组件将基板沿着邻近各气体分配组件的路径旋转，气体分流器改变处理腔室中的气体流动角度。
摘要（英）：
A substrate processing chamber and methods for processing multiple substrates is provided and generally includes a gas distribution assembly, a susceptor assembly to rotate substrates along a path adjacent each of the gas distribution assembly and a gas diverter to change the angle of gas flow in the processing chamber.
公开/授权文献:
- TWI645065B 用於批次處理的傾斜板及其使用方法 公开/授权日：2018-12-21