基本信息:
- 专利标题： 環形軌道驅動系統
- 专利标题（英）：Circular track actuation system
- 专利标题（中）：环形轨道驱动系统
- 申请号：TW101126986 申请日：2012-07-26
- 公开(公告)号：TW201334108A 公开(公告)日：2013-08-16
- 发明人： 朗加拉賈佳更 , RANGARAJAN, JAGAN , 夷馬茲阿培 , YILMAZ, ALPAY
- 申请人： 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人： 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人： 蔡坤財; 李世章
- 优先权： 13/368,477 20120208
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/304
摘要：
本發明實施例係有關於輸送基板處理設備的裝置與方法。本發明之一實施例包含一軌道組件，其擁有由單一主體形成的連續導引軌。該軌道組件也包含垂直設置的定子條，用以驅動複數個載具的馬達線圈。該等載具內的馬達線圈可以是包含各種長度的線圈段之模組。該等線圈段與該等載具可獨立及聯合驅動。
摘要（中）：
本发明实施例系有关于输送基板处理设备的设备与方法。本发明之一实施例包含一轨道组件，其拥有由单一主体形成的连续导引轨。该轨道组件也包含垂直设置的定子条，用以驱动复数个载具的马达线圈。该等载具内的马达线圈可以是包含各种长度的线圈段之模块。该等线圈段与该等载具可独立及联合驱动。
摘要（英）：
Embodiments of the present invention relate to an apparatus and a method for transferring substrate processing equipment. One embodiment of the present invention includes a track assembly having a continuous guide rail formed from a unitary body. The track assembly also includes vertically arranged stator strips for driving motor coils of a plurality of carriages. The motor coils in the carriages may be modular including coil segments of various lengths. The coil segments and the carriages may be driven individually and jointly.