发明专利
NL1035095C MULTI-BUNDEL AFBUIGER-ARRAY-INRICHTING VOOR MASKERLOZE DEELTJESBUNDEL VERWERKING.
未知
基本信息:
- 专利标题： MULTI-BUNDEL AFBUIGER-ARRAY-INRICHTING VOOR MASKERLOZE DEELTJESBUNDEL VERWERKING.
- 申请号：NL1035095 申请日：2008-02-27
- 公开(公告)号：NL1035095C 公开(公告)日：2010-06-15
- 发明人： PLATZGUMMER ELMAR , LOESCHNER HANS , KVASNICA SAMUEL , SPRINGER REINHARD , IRMSCHER MATHIAS , LETZKUS FLORIAN , BUTSCHKE JOERG
- 申请人： IMS NANOFABRICATION AG , STUTTGART MIKROELEKTRONIK
- 专利权人： IMS NANOFABRICATION AG,STUTTGART MIKROELEKTRONIK
- 当前专利权人： IMS NANOFABRICATION AG,STUTTGART MIKROELEKTRONIK
- 优先权： AT3112007 2007-02-28
- 主分类号： H01J37/04
- IPC分类号： H01J37/04 ; H01J37/317