基本信息:
- 专利标题： 감방사선성 수지 조성물
- 专利标题（英）：RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
- 申请号：KR1020140006099 申请日：2014-01-17
- 公开(公告)号：KR102119907B1 公开(公告)日：2020-06-05
- 发明人： 가타노아키라 , 오우치야스히데 , 소메야가즈야
- 申请人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
- 申请人地址： 일본 가나가와켄 가와사키시 나카하라쿠 나카마루코 ***반지
- 专利权人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： 일본 가나가와켄 가와사키시 나카하라쿠 나카마루코 ***반지
- 代理人： 특허법인태평양
- 优先权： JPJP-P-2013-049068 2013-03-12
- 主分类号： G03F7/033
- IPC分类号： G03F7/033 ; G03F7/039 ; G03F7/038 ; G03F7/004 ; G03F7/075 ; G03F7/027 ; G03F7/00
公开/授权文献:
- KR1020140111940A 감방사선성 수지 조성물 公开/授权日：2014-09-22