基本信息:
- 专利标题： 기판 이송 장치
- 专利标题（英）：Apparatus for transferring substrate
- 专利标题（中）：基板转移装置
- 申请号：KR1020150153304 申请日：2015-11-02
- 公开(公告)号：KR1020170051844A 公开(公告)日：2017-05-12
- 发明人： 최현선 , 전윤광 , 강태균
- 申请人： 삼성전자주식회사
- 申请人地址： ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人： 삼성전자주식회사
- 当前专利权人地址： ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 代理人： 특허법인 고려
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/66 ; H01L21/324 ; H01L21/67 ; H01L21/02
摘要：
기판이송장치를제공한다. 기판이송장치는, 챔버내부에배치되어내부로외부공기를유입시키는필터유닛과, 필터유닛상에순차적으로배치되는수분제거부및 퍼지가스제공부를포함하는추가유닛을포함한다. 필터유닛각각과추가유닛각각은체결된다.
摘要（中）：
提供了一种基板传送装置。 基板传送装置包括附加单元和除湿和吹扫气体提供单元，所述附加单元包括设置在腔室内并将外部空气引入腔室内的过滤单元，所述除湿和吹扫气体提供单元顺序地设置在过滤单元上。 每个过滤器单元和每个附加单元都被固定。
摘要（英）：
It provides a substrate-transferring device. A substrate transfer apparatus includes an add unit including disposed within the chamber and the filter unit for introducing the outside air into the filter unit a sequence is rejected and placed in the water purge gas provided to the parts. Each filter unit and each additional unit is concluded.
公开/授权文献:
- KR102413271B1 기판 이송 장치 公开/授权日：2022-06-28