基本信息:
- 专利标题: 적외선 센서 모듈
- 专利标题(英):Infrared sensor module
- 专利标题(中):红外传感器模块
- 申请号:KR1020150031432 申请日:2015-03-06
- 公开(公告)号:KR1020150105245A 公开(公告)日:2015-09-16
- 发明人: 반부겐후트,칼
- 申请人: 멜렉시스 테크놀로지스 엔브이
- 申请人地址: Transportstraat *, BE-**** Tessenderlo, Belgium
- 专利权人: 멜렉시스 테크놀로지스 엔브이
- 当前专利权人: 멜렉시스 테크놀로지스 엔브이
- 当前专利权人地址: Transportstraat *, BE-**** Tessenderlo, Belgium
- 代理人: 강명구; 김현석
- 优先权: GB14041073 2014-03-07
- 主分类号: G01J5/06
- IPC分类号: G01J5/06 ; G01J1/02 ; H01L31/09 ; G01J5/00
摘要:
적외선을 센싱하기 위한 센서 어셈블리(100) 및 이의 제조가 기술된다. 센서는, 기판 평면에서 연장되는 기판(160) 상에 또는 내장된 적어도 하나의 센싱 소자(150)와, 적어도 하나의 센싱 소자(150)를 커버하기 위한 캡(110) - 캡(110)은 센서 어셈블리상에 방사선 입사를 수신하기 위한 상부 벽(101) 및 센싱 소자(150)를 호스팅하기 위해, 캡과 기판 사이의 캐비티(120)를 형성하도록 구성된 복수의 캐비티 벽(130)을 포함함 - 을 포함한다. 적어도 하나의 상기 캐비티 벽(130)은 입사 방사선에 대해 상기 캐비티 벽 상에 내부 전반사를 유도하기 위하여, 수신하는 상부 벽(101)에 대해 각도(181)와 마주한다.
摘要(中):
描述了用于感测红外线的传感器组件(100)及其制造方法。 所述传感器包括设置在或嵌入在从衬底的平面延伸的衬底(160)中的至少一个感测装置(150)和用于覆盖至少一个感测装置(150)的盖。 盖(110)包括用于接收入射在传感器组件上的辐射的顶壁和多个空腔壁(130),以在盖和基板之间形成用于承载感测装置(150)的空腔(120)。 至少一个空腔壁(130)相对于接收顶壁对着一个角度,以在入射辐射的空腔壁上引起全内反射。
摘要(英):
The sensor assembly 100 and their manufacture is described for sensing the infrared rays. Sensors, and the at least one sensing device (150) or integrated in the substrate (160) extending from the substrate plane, a cap 110 for covering the at least one sensing device (150) cap (110) is a sensor a - including a top wall 101 and the sensing devices 150, a plurality of cavity wall 130 configured to form a cavity 120 between the cap and the substrate to host to receive radiation incident upon the assembly It includes. At least one of the cavity walls 130 facing the, angle 181 with respect to the upper wall 101 for receiving in order to induce total internal reflection on the cavity wall to the incident radiation.