基本信息:
- 专利标题： 액추에이터 및 점착 척 장치
- 专利标题（英）：Actuator and adhesive chuck device
- 专利标题（中）：执行器和胶粘钳装置
- 申请号：KR1020157020240 申请日：2012-12-25
- 公开(公告)号：KR1020150099607A 公开(公告)日：2015-08-31
- 发明人： 오타니요시카즈 , 사토겐지 , 미나모토히로시 , 아오키가즈나리 , 노부야스유지
- 申请人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 , 이리에 고켕 가부시키가이샤
- 申请人地址： 일본국 도쿄도 치요다쿠 칸다니시키죠 *-*
- 专利权人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤,이리에 고켕 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤,이리에 고켕 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： 일본국 도쿄도 치요다쿠 칸다니시키죠 *-*
- 代理人： 김태홍; 김진회
- 国际申请： PCT/JP2012/083536 2012-12-25
- 国际公布： WO2014102913 2014-07-03
- 主分类号： F15B15/10
- IPC分类号： F15B15/10 ; F15B15/14 ; H01L21/687 ; F15B15/24
신축부(10)로서, 주름부(11a, 11a')를 가지는 복수의 금속 벨로우즈(11, 11')가 내외에 동심 형상으로 배치되고, 금속 벨로우즈(11, 11')를 신축 변형시킴으로써, 금속 벨로우즈(11, 11')의 주름부(11a, 11a')가 각각의 내주단(11b, 11b') 및 외주단(11c, 11c')을 각각 교대로 고착하여, 신축부(10)의 전체가 신축 변형방향(Z방향) 이외의 XYθ방향으로 전혀 변형되지 않기 때문에, 금속 벨로우즈(11, 11')의 일단에 걸쳐 마련되는 승강부(20)를 통하여 가동자(40)가, 신축부(10)의 중심 공간(12) 및 기부(30)의 통공(31) 내에서, 신축 변형방향(Z방향) 이외의 XYθ방향으로는 중심이 어긋나지 않고 왕복 이동한다.
Actuator according to the present invention drives the mover without a center shifted from the non-contact state.
A suspending member (10), pleats (11a, 11a ') of having a plurality of metallic bellows (11, 11' are arranged inside and outside in a concentric shape), the metal bellows (11, 11 ') to thereby stretch deformation, metal whole to fix the bellows (11, 11 ') folds portions (11a, 11a') of each of the inner peripheral edge (11b, 11b ') and a peripheral edge (11c, 11c') with each shift, the stretching portion 10 is the elastic deformation direction (Z direction), since it is not at all deformed in XYθ direction other than the moving element 40 through the lifting unit 20 to be provided across the end of the metal bellows (11, 11 '), the stretching unit ( in the through-hole 31 of the center space 12 and the base 30 of 10), the XYθ direction other than the elastic deformation direction (Z direction) is moved reciprocally shifted without the center.
公开/授权文献:
- KR101991990B1 액추에이터 및 점착 척 장치 公开/授权日：2019-06-21