基本信息:
- 专利标题： 액추에이터 및 점착 척 장치
- 专利标题（英）：ACTUATOR AND ADHESIVE CHUCK DEVICE
- 申请号：KR1020157020240 申请日：2012-12-25
- 公开(公告)号：KR101991990B1 公开(公告)日：2019-06-21
- 发明人： 오타니요시카즈 , 사토겐지 , 미나모토히로시 , 아오키가즈나리 , 노부야스유지
- 申请人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 , 이리에 고켕 가부시키가이샤
- 申请人地址： 일본국 도쿄도 치요다쿠 칸다니시키죠 *-*
- 专利权人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤,이리에 고켕 가부시키가이샤
- 当前专利权人： 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤,이리에 고켕 가부시키가이샤
- 当前专利权人地址： 일본국 도쿄도 치요다쿠 칸다니시키죠 *-*
- 代理人： 김태홍; 김진회
- 国际申请： PCT/JP2012/083536 2012-12-25
- 国际公布： WO2014102913 2014-07-03
- 主分类号： F15B15/10
- IPC分类号： F15B15/10 ; F15B15/14 ; H01L21/687 ; F15B15/24
公开/授权文献:
- KR1020150099607A 액추에이터 및 점착 척 장치 公开/授权日：2015-08-31