基本信息:
- 专利标题: 파장 측정 장치가 내장된 외부 공진기형 레이저
- 专利标题(英):External cavity laser with wavelength measurement method
- 专利标题(中):外腔激光器采用波长测量法
- 申请号:KR1020130089986 申请日:2013-07-30
- 公开(公告)号:KR1020150014615A 公开(公告)日:2015-02-09
- 发明人: 김정수
- 申请人: 주식회사 포벨
- 申请人地址: 대전광역시 유성구 테크노*로 ***-**, *층(용산동)
- 专利权人: 주식회사 포벨
- 当前专利权人: 주식회사 포벨
- 当前专利权人地址: 대전광역시 유성구 테크노*로 ***-**, *층(용산동)
- 代理人: 유병선
- 主分类号: H01S3/0941
- IPC分类号: H01S3/0941 ; H01S3/10
본 발명에 따른 외부 공진기형의 레이저 장치는 레이저 빛을 발산하는 레이저 다이오드 칩(100)과; 상기 레이저 다이오드 칩(100)에서 발산된 빛을 일부 반사하여 다시 레이저 다이오드 칩(100)으로 궤환시키는 광 궤환용 부분 반사 거울(500)과; 상기 레이저 다이오드 칩(100)과 광 궤환용 부분 반사 거울(500) 사이의 광 경로 상에 설치되어, 레이저 다이오드 칩(100)으로부터 발산된 빛을 시준화시키는 시준화 렌즈(200)와, 패키지 바닥면에 대해 수평으로 진행하는 레이저 빛을 패키지 바닥면에 대해 수직으로 진행하는 레이저 빛으로 방향을 전환하는 45도 부분 반사 거울(300)과, 선택된 특정 파장의 빛을 투과시키는 파장 선택성 필터(400)와, 시준화 렌즈(200)에서 45도 부분 반사 거울(300)로 진행하여 45도 부분 반사 거울(300)을 투과하는 광 경로상에 배치되는 광세기감시용 포토 다이오드(600)와, 파장 선택성 필터(400)에서 45도 부분 반사 거울(300)로 진행하여 45도 부분 반사거울(300)을 투과하는 광 경로상에 배치되는 파장 감시용 포토다이오드(700);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 파장 감시� � 포토다이오드(700)를 흐르는 광전류는 레이저 다이오드 칩(100)에서 발진하는 광 출력 세기와 파장 선택성 필터(400)에서의 반사율에 따라 그 크기가 달라지고, 광세기 감시용 포토 다이오드(600)를 흐르는 광전류는 레이저 다이오드 칩(100)에서 출력된 광출력 세기에 의해 광전류가 결정되어지므로 파장 감시용 포토다이오드(700)를 흐르는 광전류를 광세기 감시용 포토 다이오드(600)로 흐르는 광전류를 나눈 값은 파장 선택성 필터(400)에서의 반사율에만 의존하는 값을 가지게 된다. 그러므로 파장 감시용 포토다이오드(700)를 흐르는 광전류를 광세기 감시용 포토 다이오드(600)로 흐르는 광전류를 나눈 값은 파장 선택성 필터(400)의 투과 대역 파장을 기준으로 레이저 빛의 파장에 대한 정보를 주며, 이를 측정함으로써 레이저 빛의 파장을 알아낼수 있으며 레이저 빛의 파장을 매우 정밀하게 미리 정해진 파장으로 결정되게 할 수 있다.
The present invention relates to an external resonator type laser equipped with a wavelength measuring device which can be independent of the drive current to accurately measure the wavelength of the laser light based on the transmission wavelength band of the wavelength selective filter is inserted in the resonator of the laser diode chip.
Laser apparatus of the type external resonator according to the present invention comprises a laser diode chip (100) that emits laser light; The laser diode chip optical feedback partial reflection mirror 500 for feedback to the light emitted at 100 to the part reflected by the laser diode chip 100 and the back; And the laser diode chip 100 and the optical feedback partial reflection mirror 500, the light is provided on the path, the laser diode chip collimator crystallized collimating the light emitted from the 100, lens 200 between for package bottom surface a wavelength selective filter 400 to 45 and a partial reflection mirror 300 for switching the direction of the laser beam traveling perpendicular to the laser light traveling horizontally in the package bottom surface, passing through the selected light of a specific wavelength and for , and the collimating lens 200 is 45 degrees, partially reflective mirror 300, a light intensity monitoring photo diode (600) for being disposed on the light path 45 passes through the partial reflection mirror 300, the process proceeds to in a wavelength-selective filter at 400 45 a partial reflection mirror 300, a photodiode 700 for wavelength monitoring is disposed on the light path 45 passes through the partial reflection mirror 300 to proceed to; characterized by comprising a, and wavelength monitoring Photo current flowing in the photodiode 700 is flowing through the laser diode chip 100, the light output intensity and the wavelength selective filter 400, the reflectivity is that the size is changed, the light intensity monitoring photo diode (600) for, depending on at which oscillation in the photocurrent is light since the photoelectric current is determined by the output intensity values divided by the photocurrent flowing through the photo current flowing through a wavelength monitor for the photodiode 700 as an optical intensity monitor photodiode 600 output from the laser diode chip 100 is a wavelength a value that depends only on the reflectivity of the selective filter 400 is to have. Therefore, based on the transmission band wavelength of the value obtained by dividing the photo current flowing through the photo current flowing through the wavelength monitoring photodiode 700 for a photo diode 600, an optical intensity monitor is a wavelength selective filter 400, the information on the laser light wavelength gives, can determine the wavelength of the laser light by measuring this, and may be determined at a predetermined with great precision the wavelength of the laser light wavelength.
公开/授权文献:
- KR102217730B1 파장 측정 장치가 내장된 외부 공진기형 레이저 公开/授权日:2021-02-22
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
H | 电学 |
--H01 | 基本电气元件 |
----H01S | 利用受激发射的器件 |
------H01S3/00 | 激光器,即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件 |
--------H01S3/02 | .结构零部件 |
----------H01S3/091 | ..应用光泵的 |
------------H01S3/0915 | ...利用非相干光 |
--------------H01S3/0941 | ....半导体激光器,例如激光二极管的 |