基本信息:
- 专利标题： 선회장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치
- 专利标题（英）：Rotating apparatus and apparatus for transferring substrate
- 专利标题（中）：旋转装置和传送基板的装置
- 申请号：KR1020130083346 申请日：2013-07-16
- 公开(公告)号：KR1020150009193A 公开(公告)日：2015-01-26
- 发明人： 윤대규 , 김태현 , 김상현 , 김동혁
- 申请人： 현대중공업 주식회사
- 申请人地址： 울산광역시 동구 방어진순환도로 **** (전하동)
- 专利权人： 현대중공업 주식회사
- 当前专利权人： 현대중공업 주식회사
- 当前专利权人地址： 울산광역시 동구 방어진순환도로 **** (전하동)
- 代理人： 특허법인천문
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; B25J9/06 ; B25J21/00 ; B65G49/06
본 발명에 따르면, 윤활유가 누출되는 것을 방지함으로써 기판을 이송하는 작업에서 비산되는 윤활유에 의해 주위 환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로 기판의 생산성을 향상시킬 수 있다.
The present invention is connected to the inside of the lubricant storage part via the drive unit, part lubricant storage which lubricating oil is stored is provided to the driving unit, yudogong, the yudogong formed in the lubricant storage unit to provide a driving force for changing the direction of the substrate is directed It is coupled, to a substrate transfer apparatus, as the lubricating oil storing unit internal pressure rises comprises turning devices and it characterized in that it comprises a discharge for receiving a lubricating oil discharged through the yudogong from the lubricant storage unit .
According to the invention, the lubricating oil can be prevented from being contaminated by the surrounding environment is the lubricating oil scattered in the operation to transfer the substrate by preventing the leak because it is possible to improve the productivity of the substrate.
公开/授权文献:
- KR101488095B1 선회장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 公开/授权日：2015-01-29