基本信息:
- 专利标题： 유체 매질을 구비한 고정밀 히터 시스템
- 专利标题（英）：High definition heater system having a fluid medium
- 专利标题（中）：具有流体介质的高定义加热器系统
- 申请号：KR1020147008066 申请日：2012-08-30
- 公开(公告)号：KR1020140076556A 公开(公告)日：2014-06-20
- 发明人： 스미스케빈로버트 , 프타시엔스키케빈 , 더어러레이알란 , 스완슨칼토마스 , 슈미트필립스티븐 , 노스라티모하메드 , 린들리제이콥로버트 , 볼트알렌노먼 , 장산홍 , 스테인하우저루이스피 , 그리마드데니스스텐리
- 申请人： 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니
- 申请人地址： 미국 미주리 ***** 세인트 루이스 랙랜드 로드 *****
- 专利权人： 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니
- 当前专利权人： 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니
- 当前专利权人地址： 미국 미주리 ***** 세인트 루이스 랙랜드 로드 *****
- 代理人： 리앤목특허법인
- 优先权： US61/528,939 2011-08-30; US61/635,310 2012-04-19
- 国际申请： PCT/US2012/053137 2012-08-30
- 国际公布： WO2013033394 2013-03-07
- 主分类号： H05B1/02
- IPC分类号： H05B1/02 ; H05B3/26 ; H01L21/67
摘要：
히터와 같은, 적어도 하나의 유체 통로를 구비한 베이스 멤버를 포함하는, 장치가 제공된다. 2상유체가 그 유체 통로 이내에 배치되며, 그 2상유체의 압력은 그 2상유체가 가열 및 냉각 중 적어도 하나를 그 베이스 멤버에 제공하도록 제어된다. 튜닝층은 그 베이스 멤버에 고정되며, 그 튜닝층은 복수 개의 영역들을 포함한다. 게다가, 구성요소가, 예컨대 척과 같은 것이 그 튜닝층에 고정된다.
摘要（英）：
The apparatus comprising a, a base member having at least one fluid passage, such as a heater is provided. Two-phase fluid is disposed within the fluid passage, the pressure of the two-phase fluid is the two-phase fluid is controlled to provide at least one of heating and cooling on the base member. Tuning layer is fixed to the base member, and the tuning layer comprises a plurality of regions. In addition, it is a component, such as the chuck is fixed to the tuning layer.
公开/授权文献:
- KR101731566B1 유체 매질을 구비한 고정밀 히터 시스템 公开/授权日：2017-04-28
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H05 | 其他类目不包含的电技术 |
| ----H05B | 电热；其他类目不包含的电照明 |
| ------H05B1/00 | 电热装置的零部件 |
| --------H05B1/02 | .专用于加热设备的自动开关装置 |